Статьи по ключевому слову «емкостной датчик»

Белозубов Е.М., Белозубова Н.Е., Васильев В.А., Козлова Ю.А. Метод уменьшения температурной погрешности в микроэлектромеханической системе датчика Декабрь, 2011