Статьи по ключевому слову «RIE»

Запевалин А.И. Обзор газовой химии используемой для плазмохимического травления Si, SiO2 и Si3N4 Июнь, 2014
Запевалин А.И. Обзор высоко-аспектных процессов травления кремния Июнь, 2014